单    位：北京航空航天大学

　　单位简介：

　　北京航空航天大学(简称北航)成立于1952年，由当时的清华大学、北洋大学、厦门大学、四川大学等八所院校的航空系合并组建，是新中国第一所航空航天高等学府，现隶属于工业和信息化部。学校分为学院路校区和沙河校区，占地3000亩，总建筑面积150余万平方米。自建校以来，北航一直是国家重点建设的高校，是全国第一批16所重点高校之一，也是80年代恢复学位制度后全国第一批设立研究生院的22所高校之一，首批进入“211工程”，2001年进入“985工程”，已跻身国内高水平大学的第一方阵。

　　发布项目及成果简述：

　　本项目课题深入分析和研究纳米压印设备的基本工作原理，针对现有纳米压印对准系统的关键部件均处于压印力传递路径之中导致在压印力作用下对准系统无法保证对准精度的问题，提出一种具有压印力解耦功能的新型纳米压印平行对准系统的设计方法，使得平行对准系统不但能用于紫外压印也可用于热压印工艺。在此基础上，系统地建立一套多自由度的分布式柔性机构的设计与优化方法，并据此方法开发出一个能将主动与被动对准功能一体化的并联柔性机构，构建具有两级甚至多级力分辨率、能精确测量大范围作用力的力传感器系统，并应用该系统来测量和分析紫外压印和热压印所需的压印力，最终建立一套基于系统刚度识别、能预测模板上压印力分布的方法，并通过实际的实验系统对所得研究成果的有效性与可行性进行实验验证。项目将为我国在精密纳米压印对准系统的设计和开发方面提供理论支撑和技术支持，为实现纳米制造的一致性与批量化打下良好基础。利用所设计的纳米压印平行对准系统，我们成功地进行了周期为500nm 光栅结构的热压印，通过扫描电子显微镜观察可以发现所得到的光栅结构具有很好的均匀性。拟将本项目的研究成果向工业界推广。